白光干涉測厚儀是一種新型的表面形貌測量方法，能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品表面形貌的三維測量。它通過掃描定位被測樣品表面各點(diǎn)的最佳干涉位置得到表面各點(diǎn)相對高度，重構(gòu)表面三維輪廓，實(shí)現(xiàn)對樣品表面三維形貌的測量。
白光干涉測厚儀的優(yōu)勢：
測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好。
?、偈褂酶咝阅芎つ始す馄?，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻。
?、谝怨獠ㄩL為測量單位，分辨率可達(dá)nm級。
?、凼褂酶咚俟怆娦盘柌蓸雍吞幚砑夹g(shù)，測量速度快。
?、芘浜嫌协h(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。
?、莘蛛x式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。
白光干涉測厚儀的設(shè)備亮點(diǎn)：
1、差值算法
同點(diǎn)測量應(yīng)用時，X射線測厚儀不能使用簡單的面密度差值算法，X射線測厚儀的差值算法，精準(zhǔn)的將凈涂布量的面密度計(jì)算出來。
2、探頭
采用低能量的X射線，核心部件進(jìn)口，無輻射污染、環(huán)?；砻?、壽命長。X光束的能量可以通過調(diào)節(jié)加速電壓來優(yōu)化測量范圍。
3、驅(qū)動、通訊
采用高精度伺服電機(jī)，定位精度高，重復(fù)性好，速度閉環(huán)控制功能；
采用無延時實(shí)時網(wǎng)絡(luò)通訊，信號采樣周期10ms，幾臺測厚儀做同點(diǎn)測量時，確保幾臺測厚儀的掃面路徑*一致
4、掃描架
O型掃描架，采用鋼板一體折彎而成，不易變形，全封閉式設(shè)計(jì)。
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